Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 274053

RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA


Salamon, Krešimir; Milat, Ognjen; Radić, Nikola
RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA // Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006. str. 23-24 (poster, domaća recenzija, sažetak, znanstveni)


CROSBI ID: 274053 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA
(X-Ray Reflectometry of Thin Films)

Autori
Salamon, Krešimir ; Milat, Ognjen ; Radić, Nikola

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006, 23-24

Skup
13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika

Mjesto i datum
Koprivnica, Hrvatska, 13.06.2006

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Ključne riječi
Rentgenska reflektometrija; tanki filmovi
(X-ray reflectometry; thin films)

Sažetak
Istraživane su mogućnosti karakterizacije tankih filmova i slojevitih naslaga na debelim podlogama mjerenjem spektara reflektancije (XR) i difuznog raspršenja (GISAXS). U tu svrhu korištena je novoadaptirana kamera s 1-D pozicijski osjetljivim detektorom za niskokutno rendgensko raspršenje pri okrznjujućem kutu upada. Spektri reflektancije i difuznog raspršenja s površinskih naslaga sadrže informaciju o njihovim morfološkim i optičkim karakteristikama kao što su: debljina i slojevitost, homogenost sastava i konformacija slojeva, te hrapavost površine i međuslojnih granica. Za analizu su upotrebljeni uzorci raznih debljina NbGe/SiO2, te raznih sastava i debljina Ge-SiO2/Si. Nađeno je da naš eksperimantalni postav omogućuje pouzdano mjerenje varijacije homogenosti po dubini, t.j. određivanje prosječne debljine kod jednoslojne naslage (u intervalu: 1-200 nm), a kod višeslojnih naslaga - određivanje debljine i broja pojedinih slojeva (ako je mjerljiva razlika u njihovoj gustoći), i konformacija međuslojnih granica (ako je veća od njihove hrapavosti).

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika



POVEZANOST RADA


Projekt / tema
0035012
0098021

Ustanove
Institut za fiziku, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Citiraj ovu publikaciju

Salamon, Krešimir; Milat, Ognjen; Radić, Nikola
RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA // Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006. str. 23-24 (poster, domaća recenzija, sažetak, znanstveni)
Salamon, K., Milat, O. & Radić, N. (2006) RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA. U: Radić, N. (ur.)Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika.
@article{article, editor = {Radi\'{c}, N.}, year = {2006}, pages = {23-24}, keywords = {X-ray reflectometry, thin films}, title = {X-Ray Reflectometry of Thin Films}, keyword = {X-ray reflectometry, thin films}, publisher = {Hrvatsko vakuumsko dru\v{s}tvo}, publisherplace = {Koprivnica, Hrvatska} }




Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font