hrvatski

RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA

Istraživane su mogućnosti karakterizacije tankih filmova i slojevitih naslaga na debelim podlogama mjerenjem spektara reflektancije (XR) i difuznog raspršenja (GISAXS). U tu svrhu korištena je novoadaptirana kamera s 1-D pozicijski osjetljivim detektorom za niskokutno rendgensko raspršenje pri okrznjujućem kutu upada. Spektri reflektancije i difuznog raspršenja s površinskih naslaga sadrže informaciju o njihovim morfološkim i optičkim karakteristikama kao što su: debljina i slojevitost, homogenost sastava i konformacija slojeva, te hrapavost površine i međuslojnih granica. Za analizu su upotrebljeni uzorci raznih debljina NbGe/SiO2, te raznih sastava i debljina Ge-SiO2/Si. Nađeno je da naš eksperimantalni postav omogućuje pouzdano mjerenje varijacije homogenosti po dubini, t.j. određivanje prosječne debljine kod jednoslojne naslage (u intervalu: 1-200 nm), a kod višeslojnih naslaga - određivanje debljine i broja pojedinih slojeva (ako je mjerljiva razlika u njihovoj gustoći), i konformacija međuslojnih granica (ako je veća od njihove hrapavosti).

Rentgenska reflektometrija; tanki filmovi

nije evidentirano