hrvatski

Spektroskopija OH radikala za karakterizaciju niskotlačne RF plazme

Niskotlačne plazme kao što je radio-frekventni induktivno vezani izboj imaju značajan potencijal u različitim tehnologijskim i znanstvenim primjenama kao što je tretman površina materijala, sterilizacija medicinske opreme ili pročišćavanje voda. Postoji stalna potreba za unapređenjem metoda karakterizacije plazme u realnom vremenu tijekom procesa obrade materijala kad se događaju brze promjene sadržaja plazme. OH radikal je vrlo često prisutan u spektrima takvih plazmi. U ovom radu istražili smo mogućnosti primjene različitih minijaturnih spektrometara s optičkim vlaknom za karakterizaciju sadržaja plazme kroz opažanje OH A-X molekularne vrpce (309 nm). Prikazujemo i raspravljamo utjecaj nekoliko karakteristika minijaturnih CCD spektrometara kao što je spektralni odziv, spektralno razlučivanje i vremensko usrednjavanje. Istraživanje je poduzeto s ciljem iskorištavanja svojstava OH spektralne pojave u dijagnostičke svrhe pri tretmanu materijala hladnom plazmom. U tu svrhu pored eksperimenata poduzete su detaljne spektralne simulacije pomoću kojih se mogu odrediti vibracijske i rotacijske temperature OH radikala za različite uvjete u plazmi.

OH radikal; emisijska spektroskopija; RF plazma;

nije evidentirano