Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 265417

Karakterizacija polisilicijskih slojeva dobivenih LPCVD postupkom


Žonja, Sanja
Karakterizacija polisilicijskih slojeva dobivenih LPCVD postupkom, 2006., diplomski rad, Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb


CROSBI ID: 265417 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Karakterizacija polisilicijskih slojeva dobivenih LPCVD postupkom
(Characterization of polysilicon layers obtained by LPCVD)

Autori
Žonja, Sanja

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad

Fakultet
Fakultet elektrotehnike i računarstva

Mjesto
Zagreb

Datum
21.09

Godina
2006

Stranica
99

Mentor
Biljanović, Petar ; Ivanda, Mile

Ključne riječi
polisilicij; silicijev dioksid; polisilicijski termički element; LPCVD (kemijska depozicija iz parne faze pri sniženom tlaku); termička oksidacija; ramanova spektroskopija; infracrvena spektroskopija; veličina zrna; debljina uzorka; boja uzorka
(polysilicon; silicon dioxide; polysilicon thermal element; LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition); thermal oxidation; Raman spectroscopy; Infrared spectroscopy; grain size; sample thickness; sample colour)

Sažetak
U ovom radu prikazani su načini dobivanja tankih slojeva polisilicija i silicijevog dioksida te metode određivanja njihovih svojstava u svrhu dobivanja polisilicijskog termičkog elementa. Dobiveni slojevi silicijevog dioksida su homogeni s minimalnim brojem defekata. Eksperimentalno je određena temperatura za optimalan rast polisilicijskih slojeva te je na toj temperaturi vršeno dopiranje s borom da bi se dobio određeni slojni otpor uzoraka.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika, Elektrotehnika



POVEZANOST RADA


Projekt / tema
0098022 - 0098022 (, )
0036001 - 0036001 (, )

Ustanove
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Profili:

Avatar Url Mile Ivanda (mentor)

Avatar Url Sanja Žonja (autor)

Avatar Url Petar Biljanović (mentor)

Citiraj ovu publikaciju

Žonja, Sanja
Karakterizacija polisilicijskih slojeva dobivenih LPCVD postupkom, 2006., diplomski rad, Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb
Žonja, S. (2006) 'Karakterizacija polisilicijskih slojeva dobivenih LPCVD postupkom', diplomski rad, Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb.
@phdthesis{phdthesis, author = {\v{Z}onja, S.}, year = {2006}, pages = {99}, keywords = {polysilicon, silicon dioxide, polysilicon thermal element, LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition), thermal oxidation, Raman spectroscopy, Infrared spectroscopy, grain size, sample thickness, sample colour}, title = {Characterization of polysilicon layers obtained by LPCVD}, keyword = {polysilicon, silicon dioxide, polysilicon thermal element, LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition), thermal oxidation, Raman spectroscopy, Infrared spectroscopy, grain size, sample thickness, sample colour}, publisherplace = {Zagreb} }




Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font