Concentration of radicals within oxygen plasma during plasma cleaning of dischage tube (CROSBI ID 512096)
Prilog sa skupa u zborniku | sažetak izlaganja sa skupa
Podaci o odgovornosti
Krstulović, Nikša ; Milošević, Slobodan ; Cvelbar, Uroš ; Mozetič Miran
engleski
Concentration of radicals within oxygen plasma during plasma cleaning of dischage tube
Prikazujemo časovni potek koncentracije radikalov v kisikovi plazmi med čiščenjem razelektritvene cevi plazemskega sistema. Osrednji del plazemskega sistema je razelektritvena cev, v kateri z radiofrekvenčnim generatorjem ustvarjamo nizkotlačno plazmo. V razelektritveni cevi smo najprej za 20 minut generirali plazmo v metanu pri tlaku 50 Pa in moči 250W. Na steni se je nabrala tanka optično vidna plast ogljikovodikov. Sistem smo izčrpali do končnega tlaka, potem pa v razelektritveni cevi generirali kisikovo plazmo. Med obdelavo cevi s kisikovo plazmo smo z optično emisijsko spektroskopijo spremljali relativno koncentracijo vodika (Hά pri 656nm), ogljikovega monoksida (vibracijski prehod pri 519nm) in kisika (atomski prehod pri 777, 4nm). Ugotovili smo, da se koncentracija radikalov prvih 25 minut čiščenja s kisikovo plazmo malo spreminja s časom, kjub temu, da je postala cev optično čista. Šele po pol ure čiščenja sta začela signala vodika in ogljikovega monoksida opazno padati, obenem pa je začela naraščati koncentracija kisikovih atomov. Po 45 minutah čiščenja je koncentracija ogljikovega monoksida padla pod detekcijsko mejo, koncentracija kisika pa je postala konstantna. Opisane raziskave so pokazale, da je optična emisijska spektroskopija plazme odličen indikator čistosti razelektritvene cevi.
plasma cleaning; oxygen plasma
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
Podaci o prilogu
16-16-x.
2005.
objavljeno
Podaci o matičnoj publikaciji
Zbornik sažetaka, 12. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
Radić, Nikola
Zagreb: Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD)
Podaci o skupu
12. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
predavanje
18.05.2005-18.05.2005
Trakošćan, Hrvatska