izvor podataka: crosbi
!
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti (CROSBI ID 109720)
Prilog u časopisu | stručni rad
Furlan, Andrej ; Radić, Nikola
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti // Vakuumist, 23 (2003), 2/3; 17-22-x
Podaci o odgovornosti
Furlan, Andrej ; Radić, Nikola
slovenski
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti
Volframske tanke plasti imajo zaradi odličnih mehanskih in kemičnih lastnosti široko uporabo v imdustriji. Eden od načinov priprave volframskih tankih plasti je magnetronsko nanašanje.....
Volfram; tanke plasti; magnetronsko nanašanje; notranje napetosti
nije evidentirano
engleski
Deposition of tungsten thin films by magnetron sputtering
nije evidentirano
Tungsten; thin films; magnetron sputtering; intrinsic stress
nije evidentirano
