engleski

Absolute energy calibration of a capillary EUV source

Ablativni kapilarni izboj kroz PVC kapilare je snažan izvor nekoherentnog EUV zračenja na 13, 5 nm. Prednosti ovakvog izvora su jednostavnost i kompaktnost pri čemu se postiže svjetlina izvora usporediva s mnogo složenijim uređajima. Po prvi puta eksperimentalno je postignuta i apsolutna kalibracija energije ovakvog uređaja, što otvara novo poglavlje u istraživanju EUV izvora. Iako je princip kalibracije ukupne energije zračenja vrlo jednostavan, realizacija ovakvog mjerenja u EUV području vrlo je složena. Za kalibraciju su korištena dva uređaja slične konstrukcije. Oba za izdvajanje 13, 5 nm pojasa i kolimaciju zračenja na detektor koriste višeslojna Mo-Si zrcala u normalnom upadu, te posebno kalibriranu rendgensku fotodiodu. Usporedna mjerenja pokazuju odlično slaganje, a bilo je moguće i odrediti divergenciju snopa zračenja. Pokazuje se da je energija jednog pulsa u 13, 5 nm pojasu (3, 00&plusmn ; ; 0, 01) mJ, gustoća zračenja (0, 48&plusmn ; ; 0, 01) mJ/sr i poluširina snopa (60&plusmn ; ; 10) m rad.

EUV radiation; absolute calibration

nije evidentirano