Karakteristike kapilarnih izboja kao izvora EUV zračenja u području 10-16 nm (CROSBI ID 491818)
Prilog sa skupa u zborniku | sažetak izlaganja sa skupa | međunarodna recenzija
Podaci o odgovornosti
Andreić, Željko ; Pleslić, Sanda ; Ellwi, Samir ; Kunze, Hans-Joachim
hrvatski
Karakteristike kapilarnih izboja kao izvora EUV zračenja u području 10-16 nm
Prikazani su prvi rezultati sustavnog proučavanja ablativnog kapilarnog izvora na bazi PVC kapilara kao izvora pojasnog EUV zračenja. Pokazuje se da se promjenom vrste PVC-a od kojeg je kapilara izrađena i radnih parametara izboja može dobiti vrlo intenzivno EUV zračenje u pojasu širine oko 1 nm, s maksimumom u blizini 10, 13, 5 ili 16 nm. Ukupni intenzitet zračenja u pojasu je za oko red veličine veći nego kod ostalih izvora baziranih na plinskom izboju. Velika prednost ovakvog izvora je relativno malena količina EUV zračenja izvan samog pojasa što u tehnološkim aplikacijama može biti velika prednost jer znatno smanjuje termičko opterećenje optičkih elemenata. Zasada najveći problem je potreba za učestalom promjenom kapilara i prisustvo velikog broja makročestica u ekspandirajućoj plazmi nakon izboja.
kapilarni izboj; EUV zračenje
nije evidentirano
engleski
Characteristics of capillary discharges as EUV radiation sources in range of 10-16 nm
nije evidentirano
capillary discharge; EUV radiation
nije evidentirano
Podaci o prilogu
2002.
objavljeno
Podaci o matičnoj publikaciji
9. međunarodni znanstveni sastanak Vakuumska znanost i tehnika : knjiga sažetaka
Podaci o skupu
Međunarodni znanstveni sastanak : Vakumska znanost i tehnika (9 ; 2002)
poster
15.05.2002-15.05.2002
Trakošćan, Hrvatska
