hrvatski

Karakterizacija dielektričnih slojeva u poluvodičkoj industriji

Dielektrični slojevi u poluvodičkoj industriji služe za zaštitu mikroelektroničkih elemenata od vanjskih utjecaja, za intermetalnu izolaciju, kao barijera alfa česticama, kao maskirajući slojevi za selektivnu izmjenu vodljivosti poluvodičkog substrata kao i u nekim drugim postupcima. Danas se od anorganskih slojevaa najviše koriste silicijev nitrid, te silicijev oksid, a od organskih dielektrika polimerni slojevi poliimidnog tipa. Izbor odgovarajućeg dielektrika ovisi o njegovim fizikalnim, termičkim i električnim svojstvima. navedena svojstva moraju biti u najužoj vezi s procesom depozicije sloja. Ovaj rad iznosi rezultate karakterizacije silicijevog nitrida kao predstavnika anorganskih, te poliimida kao predstavnika organskih dielektričnih slojeva. Dobiveni rezultati ukazuju da i anorganski i organski tip dielektričnog sloja zadovoljavaju postavljene zahtjeve zaštite mikroelektroničkih elemenata, a kombinacija silicijevog nitrida i poliimida dala bi najbolju zaštitu.

dielektrični slojevi; poliimid; poluvodička industrija; silicijev nitrid

nije evidentirano